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2005年版中国MEMS器件市场竞争研究报告

完成日期：2005年5月

报告类型	纸介版	PDF Email版	PDF 光盘版	两种版本价格
价格	1000	1500		2000
优惠价	1000	1500		2000
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1.发展现状

2.市场竞争分析

3.国内主要研究单位与厂商动态
　　3.1 北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室
　　3.2 重庆微系统科技股份有限公司
　　3.3 清华大学微米、纳米技术研究中心
　　3.4 北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
　　3.5 信息产业部电子第13研究所微米/纳米中心
　　3.6 山西科泰微技术有限公司
　　3.7 上海交通大学微纳米科学技术研究院
　　3.8 中国MEMS　IC　Semiconductor公司

4.热点产品分析
　　4.1 RF MEMS
　　　　（1）微机械高Q电感器
　　　　（2）MEMS可变电容器
　　　　（3）MEMS开关
　　　　（4）MEMS滤波器
　　　　（5）MEMS移相器
　　　　（6）MEMS　VCD（压控振荡器）
　　　　（7）MEMS谐振器
　　　　（8）MEMS振荡器
　　4.2 光MEMS
　　　　（1）光开关
　　　　（2）波分复用器
　　　　（3）光功率限幅器
　　　　（4）光调制器
　　4.3　微型传感器和微型执行器
　　　　（1）可实时探测单个病毒粒子的MEMS传感器
　　　　（2）MEMS探测器
　　　　（3）Intelleu 低值线性加速计
　　　　（4）±2g双轴加速计
　　　　（5）双轴线性加速计
　　　　（6）越低噪声双轴热感应加速计
　　　　（7）MEMS压力传感器
　　　　（8）MEMS气象传感器

5.技术发展动向分析
　　　　（1）研究方向多样化
　　　　（2）加工技术多样化
　　　　（3）MEMS系统进一步集成化和多功能化

图表
　　图1　2003-2008年全球用于光网络的MEMS市场预测
　　表1　2001-2006年全球MEMS市场预测
　　表2　MEMS开关与MESFET开关、PIN开关比较
　　附表1　国内主要MEMS研究单位与厂商名录

报告简介

　　当今微电子技术的加工尺寸已从微米（μm）→半微米（0.5μm）→亚微米（0.35μm、0.25μm、0.18μm、）→深亚微米（0.13μm、0.11μm）→纳米（90nm），正在向65nm→45nm→32nm→22nm过渡。按ITRS2003规则，2004年要实现90nm节点，这意味着微电子技术加工尺寸于2004年真正步入纳米尺度。随着微电子技术延伸和拓展（从二维到三维）至机械领域，美国提出了微电子机械系统概念（Microelectromechanical System，MEMS），即通过微电子技术与精密机械加工技术相互融合而形成的微电子与机械融为一体的系统。MEMS是指集微型传感器、微型执行器和电源于一体的微机电系统。它主要包括微型传感器、微型执行器和相应的处理电路三部分。在欧洲它称为微系统（Microsystem），在日本它称为微机械（Micromachine），目前上通常称MEMS。MEMS发源于微电子技术，其材料以硅为主，主要加工技术沿用半导体制造工艺。MEMS应用领域极广，包括航天、航空、汽车、生物医学、环境监控、通信、微波、军事、核电等领域。现在已经成功应用的MEMS有压力传感器、加速度计、微陀螺仪、喷墨头及硬盘驱动头等，主要集中在IT和汽车领域。MEMS技术之所以越来越受到人们的关注，是因为它能担当纳米科学走向纳米技术的“桥梁”。我国丁衡高院士认为：“微米纳米技术之间是一个相互交叉融合、想互促进的关系。目前如果要应用纳器件，就离不开MEMS，离不开微电子。”目前MEMS正在从实验室研究走向应用，并向产业化方向挺进……

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